WYKONALIŚMY U NASZYCH KLIENTÓW
Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
- instalacja rozprowadzająca azot o czystości powyżej 6N,
- montaż liczników na instalacji azotu oraz wodoru,
- instalacja do epitaksji półprzewodników takich gazów jak: PH3, AsH3, SiH4, Ar, H2 o czystości powyżej 6N przy użyciu spawarki orbitalnej, złączek Swagelok oraz połączeń typu VCR,
Instytut Technologii Elektronowej
- Instalacje gazów procesowych ( N2, O2, 5%SiH4/Ar, Ar, SiCl4, NH3, N2O, HBr, CF4, CHF3, CH4, SF6,He, Cl2, BCl3, C4F8 ) w Laboratorium MINTE oddział Instytutu Technologii Elektronowej w Piasecznie
- instalacji gazów technicznych O2, Ar, CH4, BCl3, NF3, Cl2, H2 do urządzenia do reaktywnego trawienia jonowego plazmą o dużej gęstości typu ICP
- wykonanie adaptacji reaktora plazmowego do głębokiego trawienia krzemu.
Cemat Silicon
- instalację gazów technicznych do urządzenia EPIPRO
- wykonanie instalacji gazów technologicznych ( PH3,B2B6,HCl, SiCl4, SiHCL3 )
Instytut Wysokich Ciśnień PAN
- dostawa i instalacja systemu doprowadzenia, rozprowadzenia, detekcji i monitoringu gazów procesowych do urządzenia ICP PECVD i ICP RIE
- wykonanie instalacji amoniaku, wodoru i azotu od butli gazowych do układu regulacji przepływu gazów w maszynie MBE w klasie czystości ppb.
Instytut Fizyki PAN
- instalacja azotu 6N oraz azotu technicznego przy urządzeniu MBE
- instalacja tlenu i azotu 7N w standardzie VCR
- instalacja gazów w Laboratorium Epitaksji
Zakłady Tłuszczowe „KRUSZWICA”
- instalacja do chromatografów w laboratorium zakładowym,
TERPOL w Sieradzu
- instalacja do chromatografów w laboratorium zakładowym,
KOSMEPOL (L’oreal)
- instalacje laboratoryjne,
Instytut Transportu Samochodowego
- instalacje laboratoryjne,
Stocznia Szczecińska
- instalacja wodorowa i gazów kalibracyjnych do zasilania analizatorów (800m.),
Rafineria Płocka i Gdańska
- instalacje do próbkowania węglowodorów.
AGA GAZ
- instalacja zbiorników kriogenicznych tlenu i azotu,
- instalacja w laboratorium analiz gazowych rurką SS 1/8” przy użyciu spawarki orbitalnej ( ok. 2.000 m. rurociągu )
Thomson-Polkolor
- instalacja tlenu i azotu od zbiorników kriogenicznych do Huty Szkła
- instalacja „Oxygen bubblers”
Politechnika Warszawska
- instalacja do urządzenia PLASMALAB 80
